溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征 |
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引用本文: | 季振国,宋永梁,杨成兴,刘坤,王超,叶志镇. 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征[J]. 半导体学报, 2004, 25(1) |
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作者姓名: | 季振国 宋永梁 杨成兴 刘坤 王超 叶志镇 |
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作者单位: | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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基金项目: | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用光致发光谱分析了经过500~700℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下有较强的紫外带边发射,但当热处理温度高于700℃时,可见光波段发射明显增加.
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关 键 词: | ZnO薄膜 光致发光 溶胶-凝胶法 旋涂 |
Characterization of ZnO Thin Film Preparation by Sol-Gel Spinning-Coating |
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