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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征
引用本文:季振国,宋永梁,杨成兴,刘坤,王超,叶志镇. 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及表征[J]. 半导体学报, 2004, 25(1)
作者姓名:季振国  宋永梁  杨成兴  刘坤  王超  叶志镇
作者单位:浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用光致发光谱分析了经过500~700℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下有较强的紫外带边发射,但当热处理温度高于700℃时,可见光波段发射明显增加.

关 键 词:ZnO薄膜  光致发光  溶胶-凝胶法  旋涂

Characterization of ZnO Thin Film Preparation by Sol-Gel Spinning-Coating
Abstract:
Keywords:
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