| 无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位 |
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| 引用本文： | 刘新福,孙以材,刘东升,陈志永,张艳辉,王静. 无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位[J]. 半导体学报, 2004, 25(2) |
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| 作者姓名： | 刘新福 孙以材 刘东升 陈志永 张艳辉 王静 |
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| 作者单位： | 河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津,300130 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河北省自然科学基金，天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 研制出检测ULSI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形100mm样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.
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| 关 键 词： | 四探针技术 薄层电阻 探针游移 等值线图 |
Research on Instrument for Testing Sheet Resistance Without Testing Pattern and the Orientation of Probes |
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