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| 《离子辅助蒸发新工艺研究》课题通过院级鉴定 | |
| 引用本文： | 李宝敏.《离子辅助蒸发新工艺研究》课题通过院级鉴定[J].西安工业学院学报,1991(3). |
| 作者姓名： | 李宝敏 |
| 摘 要： | 《离子辅助蒸发新工艺研究》课题于1991年6月7日通过院级科研项目鉴定。这一课题是兵器工业总公司下达的,由仪器工程系严一心副教授负责完成。离子辅助蒸发新工艺以新研制出的、各项综合指标具有国际先进技术水平的第二代宽束冷阴极离子源为关键设备,采用多离子束斑合成方法,方便地实现了大束斑及复杂形状束斑的合成。它可以利用同一种离子源,在不同规格的真空镀膜机上,进行离子辅助蒸发镀膜。采用这一新工艺镀制的多种光学膜层与常规真空热蒸发镀膜比较,可提高膜层质量,提高生产 |
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