| TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究 |
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| 引用本文： | 赵伟林,赵恒,曾进能,赵学峰,常乐,李廷涛,李晓峰.TiO2薄膜基底上制作多碱光电阴极的探索研究[J].红外技术,2019,41(10):895-901. |
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| 作者姓名： | 赵伟林 赵恒 曾进能 赵学峰 常乐 李廷涛 李晓峰 |
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| 作者单位： | 北方夜视技术股份有限公司,云南昆明650217;微光夜视技术重点实验室,陕西西安710065;北方夜视技术股份有限公司,云南昆明,650217 |
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| 摘 要： | 在TiO_2薄膜基底上制作多碱光电阴极,发现多碱光电阴极制作工艺无法正常进行,多碱光电阴极的颜色为暗黑色,并且阴极灵敏度非常低,而正常的多碱光电阴极应为红褐色。其中TiO_2薄膜基底利用原子层沉积(ALD)工艺制备在玻璃窗上,并且具有锐钛矿晶体结构。X射线衍射仪(XRD)分析发现,制作多碱阴极后的TiO_2薄膜样品锐钛矿衍射峰基本消失,另外X射线光电子能谱(XPS)分析发现该TiO_2薄膜样品不同深度均存在Na元素,由此表明是Na元素渗透到TiO_2薄膜中,破坏了薄膜的晶体结构,并且导致多碱光电阴极灵敏度非常低。为此提出了一种在制作多碱光电阴极之前,在TiO_2薄膜上利用ALD工艺制作一层Al_2O_3钝化膜的方法。经过实验验证,证实该方法可以有效避免Na元素渗透到TiO_2薄膜,同时多碱光电阴极制作过程可正常进行,多碱光电阴极的颜色为红褐色,阴极灵敏度超过800mA/lm。这为将来深入研究采用TiO_2薄膜作为多碱光电阴极的减反膜打下了基础。
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| 关 键 词： | 多碱阴极 TiO2减反膜 原子层沉积 Na元素渗透 钝化膜 |
Analysis of Multi Alkali Photocathode Deposition on TiO_2 Film |
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