| 一种300万像素全画幅非制冷红外探测器 |
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| 引用本文： | 李煜,谭果,史晔,李欣,刘国辉,郭健海,杨璇,丁毅飞. 一种300万像素全画幅非制冷红外探测器[J]. 红外技术, 2019, 41(11): 991-997 |
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| 作者姓名： | 李煜 谭果 史晔 李欣 刘国辉 郭健海 杨璇 丁毅飞 |
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| 作者单位： | 北方广微科技有限公司,北京 100089;昆明物理研究所,云南昆明 650223;北方广微科技有限公司,北京,100089;昆明物理研究所,云南昆明,650223 |
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| 摘 要： | 研制出一种全画幅QXGA(Quad Extend Graphic Array)非制冷氧化钒红外焦平面探测器。探测器阵列规模达到2048×1536,像元尺寸为17?m×17?m,有效光敏面积约为35 mm×26 mm。读出电路面积达到41.34 mm×39.37 mm,采用8英寸0.18?m 1P6M一版多曝的缝合拼接曝光工艺设计及加工,电路奇偶行同时积分、读出,有效提高像元积分时间。探测像元采用成熟的17?m氧化钒微桥结构,超大面积MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)结构采用"多版一曝"、"一版多曝"的组合拼接曝光设计及加工技术。探测器采用高可靠性的标准金属真空封装。测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 m K,热响应时间小于7 ms,响应率非均匀性小于8%,器件帧频大于60 Hz。
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| 关 键 词： | 非制冷 红外焦平面 氧化钒 全画幅 读出电路 |
QXGA Uncooled Infrared Detector with Three Million Pixels |
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