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| 基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制 | |
| 引用本文： | 李艳杰,齐虹.基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制[J].传感器与微系统,2012(5). |
| 作者姓名： | 李艳杰 齐虹 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所; |
| 摘 要： | 基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。 |
| 关 键 词： | 芯片 热膜 流量传感器 微机电系统 |
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