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| 高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统 | |
| 引用本文： | 冯毓材,江建国. 高质量光学薄膜制备用新型无栅霍尔离子束辅助镀膜系统[J]. 光学仪器, 2001, 23(5): 45-48 |
| 作者姓名： | 冯毓材 江建国 |
| 作者单位： | 1. 北京东方安泰克高技术有限公司, 2. 北京光电技术研究所, |
| 摘 要： | 介绍一种无栅霍尔离子束辅助镀膜系统.并对该系统的特点、性能和应用结果作了叙述. |
| 关 键 词： | 无栅霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 |
| 文章编号： | 1005-5630(2001)5/6-0045-04 |
| 修稿时间： | 2001-08-30 |
A new type gridless hall ion beam assisted deposition system for preparing high quality optic thin films |
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