用于洁净室的电缆

大量清除洁净室中的尘埃和颗粒物是非常重要的。但是，清除洁净室中会产生弯曲或与其他物品产生磨擦的电缆系统的颗粒物，则是个难题。在这方面，洁净室内控制电缆移动的设备特别容易产生颗粒物。一方面，电缆链条内的电缆会产生颗粒。另一方面，电缆表面的作用力会在关键点产生颗粒——如果该作用力是由于连续弯曲或电缆本身的重量产生的。