| 基于三种不同材料的超光滑表面性能测量结果的对比研究 |
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| 引用本文： | 夏承亮,李成贵,熊昌友. 基于三种不同材料的超光滑表面性能测量结果的对比研究[J]. 计量与测试技术, 2009, 36(10): 9-11 |
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| 作者姓名： | 夏承亮 李成贵 熊昌友 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191;北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100191 |
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| 基金项目： | 北京市自然科学基金,304 航空基金 |
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| 摘 要： | 为了研究目前主流微加工表面检测方式,本文选择三种基本材料：K9玻璃、金属、陶瓷三种不同材料在同等条件下采用不同工艺进行加工,并使用目前主流超光滑表面测试仪器对其进行检测。通过对照结果,分析各仪器测量原理、分辨力决定因素,区分造成测量误差的原因及它们各自对粗糙度参数的影响。
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| 关 键 词： | 超光滑表面 性能测量 材料 表面检测 测试仪器 粗糙度参数 K9玻璃 测量原理 |
The Comparative Study on Super-smooth Surface Performance Measurements Based on Three Different Materials |
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