| 高频等离子体气相反应合成氮化硅超细粉系统的热力学分析 |
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| 引用本文： | 李瑞青 古伟良. 高频等离子体气相反应合成氮化硅超细粉系统的热力学分析[J]. 硅酸盐学报, 1989, 17(3): 237-242 |
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| 作者姓名： | 李瑞青 古伟良 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院(李瑞青，古伟良)，北京钢铁学院(周国治) |
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| 摘 要： | 本文采用Solgasmix-PV计算机程序计算了气相反应合成氮化硅超细粉的Si-N-H-Cl四元系的多相平衡。从理论上考察了温度、氮气、氢气、氨气流量对平衡时氮化硅摩尔数的影响。 本文还介绍了依据热力学分析,用高频N_2等离子体作为热源,NH_3、H_2、SiCl_4为反应气体合成Si_3N_4粉末的实验结果。高压电镜观察表明粉末粒度小于0.μm。化学分析测出的粉末组成为:N>37、O<3,C<0.1,Fe<0.01、Al<0.01、Ca<0.01、Mg<0.01(wt％)。粉末呈白色,非晶态。
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| 关 键 词： | 氮化硅陶瓷 等离子体 气相 超细粉 |
THERMODYNAMIC ANALYSIS OF SiCl_4-NH_3-H_2-N_2 SYSTEM FOR THE SYNTHESIS OF ULTRAFINE Si_3N_4 POWDER IN A RF-PLASMA FURNACE |
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| Li Ruiqing, Gu Weiliang. THERMODYNAMIC ANALYSIS OF SiCl_4-NH_3-H_2-N_2 SYSTEM FOR THE SYNTHESIS OF ULTRAFINE Si_3N_4 POWDER IN A RF-PLASMA FURNACE[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 1989, 17(3): 237-242 |
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| Authors: | Li Ruiqing Gu Weiliang |
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| Keywords: | RF-plasma ultrafine powder vapor phase reaction thermodynamic analysis |
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