| PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 刘玉兰,汪建华,熊礼威,刘长林.PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究[J].武汉工程大学学报,2010,32(5):70-73. |
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| 作者姓名： | 刘玉兰 汪建华 熊礼威 刘长林 |
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| 作者单位： | 武汉工程大学材料科学与工程学院,等离子体化学与新材料重点实验室,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求,在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法(PECVD)在PET材料表面制备了氧化硅薄膜,通过结果分析,对两种方法从原理、各自优点等方面进行了比较,并就沉积时间、工作气压、电源功率对各自所沉积薄膜阻隔性的影响作了相应分析,得出了两种方法各自的最佳工艺条件.
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| 关 键 词： | 氧化硅薄膜 磁控溅射 阻隔性能 |
The production methods study of SiOx coating film deposited on PET substrate |
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| Authors: | LIU Yu-lan WANG Jian-hua XIONG Li-wei LIU Chang-lin |
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| Keywords: | PET PECVD |
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