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| 纳米硅量子点的自组织形成及其量子效应 | |
| 引用本文： | 高文秀,刘继伟,高鹏,郭先清.纳米硅量子点的自组织形成及其量子效应[J].纳米科技,2004,1(6):23-26. |
| 作者姓名： | 高文秀 刘继伟 高鹏 郭先清 |
| 摘 要： | 用减压气相淀积法(LPCVD)，在二氧化硅以及石英基板上自组织形成了高密度的(10^11cm^-2)纳米尺寸的半球状硅单晶粒(硅量子点)，并进一步利用自组织生成的硅量子形成具有悬浮栅极的MOS单元，验证了硅量子点的量子效应。 |
| 关 键 词： | LPCVD 自组织形成 悬浮栅极 MOS单元 纳米硅量子点 量子效应 |
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