| 基于LIGA工艺的微齿轮误差特点 |
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| 引用本文： | 代俊,石庚辰. 基于LIGA工艺的微齿轮误差特点[J]. 探测与控制学报, 2010, 32(4) |
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| 作者姓名： | 代俊 石庚辰 |
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| 作者单位： | 机电工程与控制国家级重点实验室北京分部,北京,100081 |
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| 摘 要： | 不同加工方法所产生的误差会有不同特点,鉴于未见MEMS领域误差特点研究的文献,采用采样设计对比法检测了微型齿轮的齿顶圆半径偏差、齿根圆半径偏差、齿厚偏差和齿形误差。对误差进行的统计表明:LIGA工艺加工微齿轮和微齿轮孔的误差偏向均为负向,且加工微齿轮孔的误差要大于微齿轮,设计复杂孔和轴时预留的单边余量应为15μm。分析表明,这些特点与加工方法导致的误差产生原因是吻合的。
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| 关 键 词： | 微齿轮 误差 |
Study on Micro-gears' Error of LIGA Processing |
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| DAI Jun,SHI Gengchen. Study on Micro-gears' Error of LIGA Processing[J]. Journal of Detection & Control, 2010, 32(4) |
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| Authors: | DAI Jun SHI Gengchen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LIGA |
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