| SAW化学战剂传感器的研究进展 |
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| 引用本文： | 赵以贵,刘明,牛洁斌.SAW化学战剂传感器的研究进展[J].传感器与微系统,2008,27(9). |
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| 作者姓名： | 赵以贵 刘明 牛洁斌 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029 |
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| 摘 要： | 简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展.详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势.
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| 关 键 词： | 声表面波 化学传感器 敏感膜 |
Research progress of SAW chemical warfare agent sensor |
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| ZHAO Yi-gui,LIU Ming,NIU Jie-bin.Research progress of SAW chemical warfare agent sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2008,27(9). |
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| Authors: | ZHAO Yi-gui LIU Ming NIU Jie-bin |
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