| 离子束增强沉积工艺对镀层表面粗糙度的影响 |
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| 引用本文： | 唐宾,秦林,朱晓东,徐重.离子束增强沉积工艺对镀层表面粗糙度的影响[J].中国有色金属学报,2000(Z1). |
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| 作者姓名： | 唐宾 秦林 朱晓东 徐重 |
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| 作者单位： | 太原理工大学表面工程研究所!太原030024 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安710049，太原理工大学表面工程研究所!太原030024，西安交通大学金属材料强度国家重点实验室!西安710049，太原理工大学表面工程研究所!太原030024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!资助项目 ( 59971 0 35) |
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| 摘 要： | 研究了不同界面共混工艺对精密轴承镀层表面粗糙度的影响。结果表明 ,用氮离子进行界面反冲共混 ,在动态反冲共混过程中 ,随着氮离子能量的增高 ,氮离子选择溅射和界面碳富集造成界面上沉积的镀层表面粗糙度相应增大 ,而对于在工件表面预先沉积一层纯钛的静态反冲共混工艺 ,镀层具有较低的表面粗糙度。当氮离子能量为 40keV时 ,静态反冲共混界面具有高的镀膜基体结合力。
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| 关 键 词： | 离子束增强沉积 粗糙度 结合强度 氮化钛 |
Effect of ion recoiling process on surface roughness of TiN coating |
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| TANG Bin ,QIN Lin ,ZHU Xiao dong ,XU Zhong.Effect of ion recoiling process on surface roughness of TiN coating[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2000(Z1). |
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| Authors: | TANG Bin QIN Lin ZHU Xiao dong XU Zhong |
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| Affiliation: | TANG Bin 1,2,QIN Lin 1,ZHU Xiao dong 2,XU Zhong 1 |
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| Abstract: | The effects of ion recoiling process on surface roughness of precise bearing balls and bonding strength of coating substrate interface were studied. The results show that with increasing N ions energy in the dynamic recoiling process, the surface roughness increases, the coating bonding strength decreases because of selective construction and interface carbon enrichment. When adopting static recoiling process with N ions energy of 40 keV, surface roughness is low and bonding strength of interface is enhanced. |
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| Keywords: | IBED roughness bonding strength TiN |
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