| 半导体量子点自组织生长过程的控制 |
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| 引用本文： | 娄朝刚,李献杰,张晓兵,雷威. 半导体量子点自组织生长过程的控制[J]. 半导体学报, 2005, 26(z1): 78-81 |
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| 作者姓名： | 娄朝刚 李献杰 张晓兵 雷威 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系,南京,210096;河北半导体研究所,石家庄,050051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 对控制半导体量子点的自组织生长进行了研究.在对平均场模型和非平均场模型计算机模拟结果分析的基础上,提出了利用隔离单元抑制量子点的熟化生长的方法来控制量子点的大小,并对生长过程进行了计算机模拟.结果表明通过将衬底表面的吸附原子海分割成一个个独立的隔离单元可以抑制量子点熟化生长,调节量子点的生长速度,达到制备大小均匀、排列有序的半导体量子点阵列的目的.
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| 关 键 词： | 自组织 量子点 熟化生长 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)S0-0078-04 |
| 修稿时间： | 2004-10-17 |
Control of Growth of Self-Assembled Semiconductor Quantum Dots |
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| Lou Chaogang,Li Xianjie,Zhang Xiaobing,Lei Wei. Control of Growth of Self-Assembled Semiconductor Quantum Dots[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(z1): 78-81 |
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| Authors: | Lou Chaogang Li Xianjie Zhang Xiaobing Lei Wei |
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