| HSGFET 型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3 的检测 |
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| 引用本文： | 牛文成,吴小晔,梅思滔,谢建湘,那兴波,李华伟,贾芸芳. HSGFET 型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3 的检测[J]. 传感技术学报, 2001, 14(1): 23-25 |
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| 作者姓名： | 牛文成 吴小晔 梅思滔 谢建湘 那兴波 李华伟 贾芸芳 |
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| 作者单位： | 南开大学电子科学系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69876023; |
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| 摘 要： | 本文介绍了双敏感膜，复合悬浮栅（Hybrid Suspended Gate即HSG）FET型臭氧传感器的结构与制作，重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O3敏感性的影响，并对所得实验结果进行了分析比较。
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| 关 键 词： | HSGFET 悬浮栅 双敏感膜 双敏感膜 臭氧传感器 纳诺量级 |
| 文章编号： | 1004-1699(2001)01-0023-03 |
| 修稿时间： | 2000-07-03 |
Ozone Detection in the ppb Range with HSGFET Ozone Sensors Operating at Room Temperature |
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| NIU Wencheng,WU Xiaoye,MEI Shitao,XIE Jianxiang,NA Xingbo,LI Huawei,JIA Yunfang. Ozone Detection in the ppb Range with HSGFET Ozone Sensors Operating at Room Temperature[J]. Journal of Transduction Technology, 2001, 14(1): 23-25 |
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| Authors: | NIU Wencheng WU Xiaoye MEI Shitao XIE Jianxiang NA Xingbo LI Huawei JIA Yunfang |
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| Abstract: | This paper introduce the structure and fabrication for HSGFET ozone sensors with dual sensitive layer. Study the affect of sensitive layer and structure for ozone sensitive characteristic of ozone sensors mainly. A comparison and analysis of the experimental results are given. |
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| Keywords: | HSGFET ozone sensor suspended gate dual sensitive layer work function |
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