薄膜延迟线

研究了一种用薄膜工艺制成的分布参数LC网络延迟线。在最新的大规模集成电路计算机系统的超高速逻辑电路中,因为一般的用分立电容和绕线式电感组成的延迟线达不到1毫微秒上升时间的脉冲响应和产生的可观的波形畸变,所以不能应用。此外,这类延迟线还存在工艺过程质量不易控制、可靠性差、特性不均匀等缺点。