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ZG—15型卷绕镀膜机感应加热式蒸发源的设计
作者姓名:康哲 苏长庆
作者单位:锦州真空设备厂(康哲,苏长庆,李石),锦州真空设备厂(徐志强)
摘    要:感应加热式蒸发源用于卷绕式真空蒸发镀膜机蒸镀铝膜,近年来在日本得到了广泛 地应用。为了把这一先进技术在国内加以应用推广,本文在介绍了感应加热式蒸发源加 热蒸发原理的基础上,对蒸发源的结构及其主要参数、感应加热器的电气参数计算及感 应源的电气原理等方面作了详尽地论述。文中最后还就蒸发源有关的设计问题,诸如坩 埚与蒸镀辊的距离、坩埚之间的布置及输电导线的设计等问题做了介绍,并且指出了这 种蒸发源在运转过程中应注意的几个问题。

关 键 词:镀膜机 蒸发源 设计 真空镀膜
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