| 用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜 |
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| 引用本文： | 王建军,邬钦崇.用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜[J].高技术通讯,1994,4(11):14-16. |
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| 作者姓名： | 王建军 邬钦崇 |
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| 作者单位： | 北京科技大学，中国科学院等离子体物理所 |
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| 摘 要： | 在国内首次研制成功了高气压发射天线式微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石薄膜装置，用该装置成功地在３英寸的单晶硅衬底上沉积了Φ７０ｍｍ的金刚石薄膜。这一成果填补了国内空白，对我国金刚石薄膜研究领域的设备更新换代和开发应用具有重要意义。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 气相沉积 微波 等离子体 沉积 |
The Synthesis of Large-Area Diamond Films Using Quartz Bell Jar Type Microwave Plasma CVD |
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| Wang Jianjin, Lu Fanxiu.The Synthesis of Large-Area Diamond Films Using Quartz Bell Jar Type Microwave Plasma CVD[J].High Technology Letters,1994,4(11):14-16. |
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| Authors: | Wang Jianjin Lu Fanxiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Diamond film CVD Microwave Plasma |
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