微分代数在高阶复合几何像差—色像差分析中的应用 |
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引用本文: | 程敏,唐天同,等.微分代数在高阶复合几何像差—色像差分析中的应用[J].真空科学与技术,2001,21(5):356-359. |
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作者姓名: | 程敏 唐天同 |
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作者单位: | [1]西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系,西安710049 [2]西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技 |
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摘 要: | 微分代数是计算机数值计算领域中的一种强有力的新型数学方法,它为任意高阶微分的计算提供了一种可达到机器精度的极为简便的手段。本根据微分代数的基本原理,研究了它在高阶复合几何像差-色像差分析计算中的应用,得到了系统的任意阶传递性质的微分代数表达,并具体给出了一至三阶复合几何像差-色像差所对应的微分代数系数。中还以一个轴上电位分布具有解析表达式的静电电子透镜为例,计算了它的一至三阶复合几何像差-色像差系数,并给出了一阶色差分布图形。
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关 键 词: | 微分代数 几何像差-色像差 静电电子透镜 带电粒子光学 半导体器件 |
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