| 基于PC机控制的电子束图形控制器 |
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| 引用本文： | 张玉林,张玲.基于PC机控制的电子束图形控制器[J].微细加工技术,2001(4):12-15. |
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| 作者姓名： | 张玉林 张玲 |
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| 作者单位： | 山东大学南区, |
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| 摘 要： | 介绍了新研制的PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构、基本功能以及设计中应注意的主要环节。
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| 关 键 词： | 电子束曝光机 图形发生器 计算机控制 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)04-0012-04 |
| 修稿时间： | 2001年2月3日 |
Pattern Digital Controller for Electron-beam Lithography System Based on PC |
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| ZHANG Yu?lin,ZHANG Ling.Pattern Digital Controller for Electron-beam Lithography System Based on PC[J].Microfabrication Technology,2001(4):12-15. |
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| Authors: | ZHANG Yu?lin ZHANG Ling |
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| Abstract: | The newly developed pattern digital controller for electron?beam lithography system based on PC is presented.Its interface, architecture, basic functions and main keys in design are introduced. |
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| Keywords: | electron?beam lithography machine pattern generator computer control |
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