| 微波功率对掺氮纳米金刚石薄膜组成、结构及性能的影响 |
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| 引用本文： | 王兵,王延平,熊鹰,周亮,叶勤燕.微波功率对掺氮纳米金刚石薄膜组成、结构及性能的影响[J].功能材料,2012,43(20):2848-2850,2854. |
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| 作者姓名： | 王兵 王延平 熊鹰 周亮 叶勤燕 |
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| 作者单位： | 西南科技大学四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地,四川绵阳,621010 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，碳纳米材料四川省青年科技创新研究团队专项资助项目 |
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| 摘 要： | 以CH4和CO2作生长金刚石薄膜的反应气体,以Ar作载气将三聚氰胺甲醇饱和溶液带入沉积室内作氮掺杂源,用微波等离子体化学气相沉积法在单晶硅衬底上制备出掺氮纳米金刚石薄膜。通过拉曼光谱、原子力显微镜、霍尔效应研究了掺氮纳米金刚石薄膜的组成、结构和导电性能,重点研究了微波输入功率对薄膜特性的影响。结果表明,制备的掺氮纳米金刚石薄膜具有良好的电子导电性,且随着激发等离子体微波功率的增大,其晶粒尺寸、晶界宽度、表面粗糙度和电导率增大,在最佳微波功率条件下制备出电子电导率高、材料质量好的纳米金刚石薄膜。
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| 关 键 词： | 微波等离子体 纳米金刚石薄膜 掺杂 电导率 |
Effect of microwave power on the composition, structure and performance of n-type doped nano diamond thin films |
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| WANG Bing,WANG Yan-ping,XIONG Ying,ZHOU Liang,YE Qin-yan.Effect of microwave power on the composition, structure and performance of n-type doped nano diamond thin films[J].Journal of Functional Materials,2012,43(20):2848-2850,2854. |
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| Authors: | WANG Bing WANG Yan-ping XIONG Ying ZHOU Liang YE Qin-yan |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory Cultivation Base for Nonmetal Composites and Functional Materials, Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microwave plasma nano diamond film doping conductivity |
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