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电弧放电离子镀
引用本文:苗景岐,王桂荣,吴茂林.电弧放电离子镀[J].光电工程,1988(6).
作者姓名:苗景岐  王桂荣  吴茂林
作者单位:中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所
摘    要:一种新的镀膜技术——电弧放电离子镀研制成功。用于金属膜和金属氧化物膜的制备,已获得了很好的效果。该技术对研究高质量的光学膜将具有很大的潜力。

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