| 孔深孔径对多孔湿度传感器灵敏度的影响 |
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| 引用本文： | 苏凤,陈向东,严峻.孔深孔径对多孔湿度传感器灵敏度的影响[J].仪表技术与传感器,2008(2):80-81. |
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| 作者姓名： | 苏凤 陈向东 严峻 |
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| 作者单位： | 西南交通大学信息科学与技术学院,四川成都,610031 |
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| 摘 要： | 湿度传感器有电阻和电容等类型,由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化.根据多孔Al2O3电容湿度传感器微观结构,建立了该器件的等效电路模型,利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔Al2O3 湿度传感器性能的影响.根据孔深孔径的合理取值范围,通过仿真,找出孔高比与面积占空比的最佳值,提高了湿度传感器的灵敏度.
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| 关 键 词： | 多孔 湿度传感器 孔深孔径 电容特性 孔深 孔径 多孔 电容湿度传感器 灵敏度 影响 Humidity Sensor Diameter Depth Porous Effect 最佳 占空比 面积 仿真 取值范围 性能 等效电路模型 利用 器件 |
| 文章编号： | 1002-1841（2008）02-0080-02 |
| 收稿时间： | 2007-04-18 |
| 修稿时间： | 2007-09-30 |
Sensitivity Effect of the Porous Depth and Diameter on Humidity Sensor |
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| SU Feng,CHEN Xiang-dong,YAN Jun.Sensitivity Effect of the Porous Depth and Diameter on Humidity Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2008(2):80-81. |
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| Authors: | SU Feng CHEN Xiang-dong YAN Jun |
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| Abstract: | Humidity sensor included registance and capacitance and so on,hence the characteristic of registance and capacitance can be adopted to analyze the variety of the humidity.It utilized the capacitance property to illuminate the performance of the Al2O3 humidity sensor.Matlab software was adopted to simulate the equivalent circuit according to the orificial depth and diameter of the porous thin film.Selected the reasonable range of the porous depth and diameter,found out the optimal value and made the sensitivity performance of the humidity sensor best. |
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| Keywords: | porous humidity sensor depth and diameter capacitance property |
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