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| 钛酸铅热释电薄膜集成红外传感器 | |
| 作者姓名： | Masanori Okuyama |
| 摘 要： | 最近,由于大量潜在的应用需要,如遥感、红外医学热象和气体探测,室温工作的红外传感器已受到相当重视,PbTiO_3因其热释电系数大且居里温度高,所以它具有优良的热释电特性。本文,我们试验制作了一种可获得红外成象的PbTiO_3薄膜线型列阵探测器,并研究了列阵探测器的基本特性。图1给出了PbTiO_3薄膜集成探测器线列的简单结构。衬底为厚约20～50μm的云母片、单晶硅和硅膜。在硅膜衬底中,灵敏元背面的部分硅被用择优腐蚀方法去除,留下的厚约 |
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