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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
MeV重离子轰击引起金属膜抗蚀性的研究
作者姓名:
刘正民
杨坤山
杨化中
裘元勋
作者单位:
兰州大学现代物理系(刘正民,杨坤山,杨化中),兰州大学现代物理系(裘元勋)
摘 要:
对以N型硅为基底的 Cu、Sn和 Au膜用能量 2.0~4.5MeV的 Cl++离子进行了 轰击。酸液浸泡实验表明,当 CI++离子注入剂量达到 5×1015/cm2时,轰击区薄膜耐酸腐蚀能力发生突变。对这种突变的原因给出了一种初步的、定性的解释。
关 键 词:
薄膜
耐腐蚀性
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