| 硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 王金清,刘晓红,许世红,杨生荣.硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究[J].机械工程材料,2004,28(9):41-44. |
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| 作者姓名： | 王金清 刘晓红 许世红 杨生荣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000
2. 兰州高等师范专科学校化学系,甘肃,兰州,730070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50375151和50272068);863计划资助项目(2002AA423230和2002AA302609) |
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| 摘 要： | 利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜，应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构。结果表明：该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝，呈“准二维”特征，且与基底的牢固性好。摩擦磨损试验表明：ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层。
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| 关 键 词： | 自组装单层薄膜 氧化锆薄膜 摩擦学性能 |
| 文章编号： | 1000-3738(2004)09-0041-04 |
Preparation and Tribological Behavior of ZrO2 Thin Film through Self-assembled Processing |
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| WANG Jin-qing,LIU Xiao-hong,XU Shi-hong,YANG Sheng-rong.Preparation and Tribological Behavior of ZrO2 Thin Film through Self-assembled Processing[J].Materials For Mechanical Engineering,2004,28(9):41-44. |
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| Authors: | WANG Jin-qing LIU Xiao-hong XU Shi-hong YANG Sheng-rong |
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| Affiliation: | WANG Jin-qing~1,LIU Xiao-hong~1,XU Shi-hong~2,YANG Sheng-rong~1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | self-assembled monolayer ZrO_2 thin film tribological behavior |
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