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金刚石薄膜摩擦学性能研究进展
引用本文:靳慧智,史新伟,陈林峰,姚宁,张兵临,王新昌. 金刚石薄膜摩擦学性能研究进展[J]. 真空, 2009, 46(3)
作者姓名:靳慧智  史新伟  陈林峰  姚宁  张兵临  王新昌
作者单位:郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
基金项目:河南省科技攻关项目,郑州大学培育基金 
摘    要:化学气相沉积的金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于单晶金刚石明显偏高,制约着其在摩擦学领域的应用.本文介绍了近年来国内外学者为提高金刚石薄膜摩擦学性能而进行的探索研究及其发展现状.简要分析了影响金刚石薄膜摩擦学性能的主要因素,并提出金刚石薄膜应用于摩擦学领域需要重视解决的几个问题.

关 键 词:化学气相沉积  金刚石薄膜  摩擦学性能

Latest progress of tribological properties of diamond films
JIN Hui-zhi,SHI Xin-wei,CHEN Li-neng,YAO Ning,ZHANG Bin-lin,WANG Xin-chang. Latest progress of tribological properties of diamond films[J]. Vacuum(China), 2009, 46(3)
Authors:JIN Hui-zhi  SHI Xin-wei  CHEN Li-neng  YAO Ning  ZHANG Bin-lin  WANG Xin-chang
Abstract:
Keywords:
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