|
|||||
|
|
| 表面形貌光学法测量技术 | |
| 引用本文： | 冯斌,王建华. 表面形貌光学法测量技术[J]. 计量与测试技术, 2005, 32(6): 4-6 |
| 作者姓名： | 冯斌 王建华 |
| 作者单位： | 西安工业学院光电测试技术研究所,陕西,西安,710032 |
| 摘 要： | 介绍了在表面微观形貌测量中常用的光学测量方法，分析了它们各自的原理和优缺点，最后对光学法表面微观形貌测量技术的发展作了简要评述。 |
| 关 键 词： | 测量技术 光学法 表面形貌 光学测量方法 表面微观形貌 形貌测量 优缺点 |
| 修稿时间： | 2005-03-21 |
The Optical Means Used in Measuring Surface Microtopography |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |