| 射频磁控共溅射制备超亲水TiO2/SiO2复合薄膜 |
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| 引用本文： | 沈杰,沃松涛,蔡臻炜,崔晓莉,杨锡良,章壮健.射频磁控共溅射制备超亲水TiO2/SiO2复合薄膜[J].真空科学与技术学报,2004,24(6):415-419. |
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| 作者姓名： | 沈杰 沃松涛 蔡臻炜 崔晓莉 杨锡良 章壮健 |
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| 作者单位： | 复旦大学材料科学系,上海,200433 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控共溅射法制备了SiO2/TiO2复合薄膜,通过控制SiO2靶与TiO2靶的溅射时间可调节SiO2与TiO2的比例.所制备的SiO2/TiO2薄膜为锐钛矿结构.实验结果表明:SiO2的掺入降低了SiO2/TiO2复合薄膜的光催化能力,但却提高了薄膜的亲水性的维持时间.其中,掺入6%～13%SiO2的SiO2/TiO2复合薄膜,在紫外光照射30 min,接触角降到2°;停止照射后,在5天内接触角小于6°.
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| 关 键 词： | 射频磁控共溅射 SiO2/TiO2复合薄膜 亲水性 光催化 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)06-0415-05 |
| 修稿时间： | 2004年3月5日 |
Super-Hydrophilic TiO2/SiO2 Composite Thin Films Prepared by RF Magnetron Co-Sputtering |
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| Shen Jie,Wo Songtao,Cai Zhenwei,Cui Xiaoli,Yang Xiliang and Zhang Zhuangjian.Super-Hydrophilic TiO2/SiO2 Composite Thin Films Prepared by RF Magnetron Co-Sputtering[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(6):415-419. |
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| Authors: | Shen Jie Wo Songtao Cai Zhenwei Cui Xiaoli Yang Xiliang and Zhang Zhuangjian |
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| Affiliation: | Shen Jie,Wo Songtao,Cai Zhenwei,Cui Xiaoli,Yang Xiliang and Zhang Zhuangjian* |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF magnetron co-sputtering TiO 2/SiO 2 composite thin films Hydrophilicity Ph otocatalytic |
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