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激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜
引用本文:朱超,官文超,官文杰,龙华,胡少六,曹远美.激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜[J].武汉理工大学学报,2005,27(11):11-14.
作者姓名:朱超  官文超  官文杰  龙华  胡少六  曹远美
作者单位:1. 华中科技大学化学系,武汉,430074;江汉大学化学与环境工程学院,武汉,430056
2. 华中科技大学化学系,武汉,430074
3. 华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074
基金项目:国家自然科学基金(50374039),激光国家重点实验室开放项目(0113)
摘    要:以金属锌、铁、银为靶材,用准分子脉冲激光沉积法(PLD),在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜.XRD和AFM研究结果表明薄膜的结晶度很好,晶粒尺寸在30~50 nm,成膜均匀致密,光滑平整;经紫外和红外光谱发现:Ag/Fe/Zn氧化物多层膜反射率小于15%,是一种低反射薄膜,其在可见光区的透过率约为50%(浅蓝灰色),对紫外的阻隔率大于90%,对近红外的阻隔率大于70%.

关 键 词:脉冲激光沉积法  透明薄膜  抗紫外/近红外性能
文章编号:1671-4431(2005)11-0011-03
修稿时间:2005年6月17日

Pulsed Laser Deposition of High Anti-infrared Radiation Capacity Transparent Ag/Fe/Zn Oxide Multilayer Film
ZHU Chao,GUAN Wen-chao,GUAN Wen-jie,LONG Hua,HU Shao-liu,CAO Yuan-mei.Pulsed Laser Deposition of High Anti-infrared Radiation Capacity Transparent Ag/Fe/Zn Oxide Multilayer Film[J].Journal of Wuhan University of Technology,2005,27(11):11-14.
Authors:ZHU Chao  GUAN Wen-chao  GUAN Wen-jie  LONG Hua  HU Shao-liu  CAO Yuan-mei
Abstract:
Keywords:pulsed laser deposition  transparent thin film  anti-ultraviolet/near infrared radiation capacity
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