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| 瑞翁建氟化合物生产装置 | |
| 作者姓名： | 任伟成 |
| 摘 要： | 日本瑞翁公司将在它的高冈厂中兴建一个符合环境保护的下一代的氟化合物的生产装置。该化合物以Ｚｅｏｒｏｒａ为商品牌号,将被用作清洗／干燥和干蚀刻。公司如果从用户中收到良好的反响,则计划在１９９８年１０月份完成安全评估后上市。瑞翁建氟化合物生产装置@任伟成 |
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