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| 基底温度对ITO薄膜红外发射特性的影响 | |
| 引用本文： | 胡亚兰,刁训刚,郝维昌,王聪,王金良,王天民.基底温度对ITO薄膜红外发射特性的影响[J].红外,2004(1):21-24. |
| 作者姓名： | 胡亚兰 刁训刚 郝维昌 王聪 王金良 王天民 |
| 作者单位： | 北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京,100083 |
| 基金项目： | 教育部留学回国人员科研启动基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文采用射频磁控溅射法制备ITO薄膜，该薄膜具有较低的红外发射率。利用紫外-可见-近红外分光光度计、红外发射率测量仪、四探针测试仪研究了溅射过程中基底温度对ITO薄膜红外特性和光电性能的影响，并且用AFM对ITO薄膜的表面形貌进行了表征。实验发现，随着基底温度的升高，薄膜的表面颗粒增大，透过率、方块电阻、平均红外发射率均会降低。本文还讨论了8μm～14μm波段平均红外发射率与方块电阻之间的关系。 |
| 关 键 词： | 基底温度 ITO薄膜 红外发射 射频磁控溅射法 紫外-可见-近红外分光光度计 四探针测试仪 薄膜表面表征 透过率 氧化铟锡 |
Effect of Different Substrate Temperatures on the Infrared Emissivity Properties of Indium Tin Oxide (ITO) Thin Films |
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| HU Yalan DIAO Xungang HAO Weichang WANG Cong WANG Jinliang WANG Tianmin.Effect of Different Substrate Temperatures on the Infrared Emissivity Properties of Indium Tin Oxide (ITO) Thin Films[J].Infrared,2004(1):21-24. | |
| Authors: | HU Yalan DIAO Xungang HAO Weichang WANG Cong WANG Jinliang WANG Tianmin |
| Abstract: | |
| Keywords: | ITO film substrate temperature transmittance sheet resistance infrared emis- sivity |
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