| MMIC Foundry工艺的进展 |
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| 引用本文： | 张汉三. MMIC Foundry工艺的进展[J]. 微纳电子技术, 1993, 0(3) |
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| 作者姓名： | 张汉三 |
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| 作者单位： | 机电部第13研究所 石家庄 |
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| 摘 要： | 介绍了与标准工艺加工线(Foundry)工艺相容的功率MMIC制造工艺、毫米波PHEMT MMIC foundry工艺的最新进展和遇到的问题。此外,还给出了用稳定的foundry工艺获得的结果。
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| 关 键 词： | 毫米波集成电路 半导体工艺 标准工艺加工线 |
Progress of MMIC Foundry Processes |
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| Zhang Hansan. Progress of MMIC Foundry Processes[J]. Micronanoelectronic Technology, 1993, 0(3) |
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| Authors: | Zhang Hansan |
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| Abstract: | A foundry compatible power MMIC production technology, recent progress of mm-wave PHEMT MMIC foundry processes and problems encountered are presented. The results obtained with stabilized foundry processes are given. |
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| Keywords: | MMIC Semiconductor technology Foundry |
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