| 基于激光捕获原理的超精密加工技术研究 |
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| 引用本文： | 王晓娜,郭天太,白剑.基于激光捕获原理的超精密加工技术研究[J].机床与液压,2009,37(7). |
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| 作者姓名： | 王晓娜 郭天太 白剑 |
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| 作者单位： | 1. 中国计量学院,浙江杭州,310018
2. 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州,310027 |
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| 摘 要： | 为了适应超精密加工对加工精度的要求,将激光捕获技术引入到超精密加工领域,提出了"基于激光捕获原理的超精密加工技术"的概念,介绍了其工作原理,建立了其理论模型,并通过组建基于激光捕获原理的超精密加工系统进行纳米加工,证明将激光捕获技术应用在超精密加工中是可行的.基于激光捕获原理的超精密加工技术为超精密加工提供了一种全新的工具,必将发挥越来越大的作用.
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| 关 键 词： | 激光捕获 超精密加工技术 理论模型 |
Ultra-precision Machining Technology Based on Laser Trapping |
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| WANG Xiaona,GUO Tiantai,BAI Jian.Ultra-precision Machining Technology Based on Laser Trapping[J].Machine Tool & Hydraulics,2009,37(7). |
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| Authors: | WANG Xiaona GUO Tiantai BAI Jian |
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