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| “集成电路工艺原理”课程建设与教学改革探讨 | |
| 引用本文： | 汤乃云.“集成电路工艺原理”课程建设与教学改革探讨[J].中国电力教育,2012(29):46+49. |
| 作者姓名： | 汤乃云 |
| 作者单位： | 上海电力学院电子科学与技术系 |
| 基金项目： | 上海自然科学基金(B10ZR1412400);上海市科技创新行动计划地方院校能力建设项目(10110502200)资助的研究成果 |
| 摘 要： | "集成电路工艺原理"是微电子学的核心专业课程,是联系半导体器件与集成电路的关键环节。针对课程实验所需的集成电路工艺线价格昂贵、成本很高、一般高校难以开设实验的特点出发,提出了以整合优化教学内容为中心,运用多媒体教学方法,辅以工艺模拟仿真实验、生产实习等实践教学,对"集成电路工艺原理"课程建设与教学改革进行了探讨与实践。 |
| 关 键 词： | 集成电路工艺原理 教学内容 教学方法 |
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