扭摆式微机械加速度计的系统研究 |
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引用本文: | 黄胜华,柯尊友,周百令,王寿荣. 扭摆式微机械加速度计的系统研究[J]. 测控技术, 1999, 18(3): 9-11 |
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作者姓名: | 黄胜华 柯尊友 周百令 王寿荣 |
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作者单位: | 东南大学仪器科学与工程系,210096 |
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摘 要: | 扭摆式微机械加速度计是近年来才开始发展的一种新型加速度计。介绍了这种新型加速度计的机械结构、工作原理,根据其测试特点,对其关键部分进行了探讨。在此基础上,对整个加速度计系统的误差来源进行了分析。
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关 键 词: | 加速度计 微机械 弱信号检测 小电容测量 |
Research on Pendulous Micromechanical Accelerator System |
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Abstract: | Pendulousmicromechanical accelerator is a new kind of accelerator ,which was developed in the lastseveral years. The accelerator's mechanical structure and the principle of operation arepresented.According to the testing peculiarity, the most important part of its test systemis discussed. On the base, the error sources of the whole accelerator's system areanalyzed. |
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