| 金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析 |
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| 引用本文： | 杨文彬 张立同 成来飞 华云峰 张钧. 金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析[J]. 稀有金属材料与工程, 2006, 35(3): 488-491 |
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| 作者姓名： | 杨文彬 张立同 成来飞 华云峰 张钧 |
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| 作者单位： | 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室,陕西,西安,710072 |
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| 摘 要： | 采用金属有机物化学气相沉积法，在不通入活性气体的条件下，研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层。分析表明：铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成，220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层，185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层。铱涂层表面光滑均匀，无明显缺陷。
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| 关 键 词： | 铱涂层 金属有机物化学气相沉积 升华温度 显微组织 |
| 文章编号： | 1002-185X(2006)03-0488-04 |
| 收稿时间： | 2004-12-27 |
| 修稿时间： | 2004-12-27 |
Structural and Morphological Characterization of Iridium Coatings Grown by MOCVD |
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| Yang Wenbin,Zhang Litong,Cheng Laifei,Hua Yunfeng,Zhang Jun. Structural and Morphological Characterization of Iridium Coatings Grown by MOCVD[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2006, 35(3): 488-491 |
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| Authors: | Yang Wenbin Zhang Litong Cheng Laifei Hua Yunfeng Zhang Jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | iridium coatings MOCVD microstructure sublimation temperature substrates |
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