| 溶胶-凝胶法掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究 |
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| 引用本文： | 冯金垣,邓健强,孔镇.溶胶-凝胶法掺钛SnO2薄膜的气敏光学特性研究[J].传感器与微系统,2010,29(8). |
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| 作者姓名： | 冯金垣 邓健强 孔镇 |
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| 基金项目： | 广东省东莞石龙基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备掺钛SnO2薄膜,对不同掺杂浓度的薄膜进行XRD测试.在常温下对膜片在乙醇气氛中进行气敏光学特性测试.结果表明:掺钛薄膜在常温下对测试气体的反应时间比其他掺杂薄膜明显缩短,并且薄膜的灵敏度与掺杂浓度有关,10%掺钛SnO2薄膜的灵敏度在1800～2500nm波长范围保持在15%左右.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 SnO2薄膜 乙醇气氛 反射率 |
Study on gas sensing optical properties of SnO2:Ti thin film prepared by sol-gel |
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| FENG Jin-yuan,DENG Jian-qiang,KONG Zhen.Study on gas sensing optical properties of SnO2:Ti thin film prepared by sol-gel[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(8). |
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| Authors: | FENG Jin-yuan DENG Jian-qiang KONG Zhen |
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