新型半导体光电材料—CVD金刚石 |
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引用本文: | 杨国伟.新型半导体光电材料—CVD金刚石[J].半导体光电,1992,13(1):63-69. |
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作者姓名: | 杨国伟 |
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作者单位: | 合肥工业大学应用物理系 合肥 |
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摘 要: | 综述了近年来 CVD 金刚石作为新型半导体光电材料的研究进展。主要包括:p型、n 型掺杂 CVD 金刚石的制备和性能;CVD 金刚石的发光特性;由 CVD 金刚石制备的发光器件。指出了目前 CVD 金刚石工业也所急待解决的一些问题。
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关 键 词: | CVD 金刚石 掺杂 发光 半导体材料 |
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