| 一种RF MEM电感及其LC低通滤波器的模拟和设计 |
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| 引用本文： | 武锐,廖小平.一种RF MEM电感及其LC低通滤波器的模拟和设计[J].传感技术学报,2008,21(4):644-647. |
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| 作者姓名： | 武锐 廖小平 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感,提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法。由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度,误差在8%以内。设计的一个3.6nH的平面MEM电感的品质因数超过20,自谐振频率超过15GHz。由平面MEM电感构成的5阶LC低通滤波器的-3dB带宽为3.7GHz,0~3GHz内的插入损耗低于1dB。
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| 关 键 词： | 平面MEM电感 LC低通滤波器 等效电路模型 MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0644-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Simulation and Design of the RF MEM inductors
and LC low-pass filters |
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| WU Rui,LIAO Xiao-ping.Simulation and Design of the RF MEM inductors
and LC low-pass filters[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):644-647. |
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| Authors: | WU Rui LIAO Xiao-ping |
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| Affiliation: | Key Laboratory of MEMS of Ministry of Education, Southeast University |
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| Abstract: | This paper simulates and designs planar MEM inductors based on surface-micromachining technology,and presents equivalent circuit models of the inductors and its parameters extraction methods.Model prediction shows excellent agreement with the simulated data over a wide frequency region,and the contrast between model and simulation is within 8%.The quality factor(Q)of a 3.6 nH inductor is higher than 20 and the self-resonant frequency(fsr)is greater than 15 GHz.The-3 dB bandwidth of a low-pass filter consists of the MEM inductors is 3.7 GHz,and insertion loss within 0-3 GHz is less than 1 dB. |
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| Keywords: | planar MEM inductors LC low-pass filter equivalent circuit MEMS |
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