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| 多晶硅还原炉接地故障预防措施 | |
| 作者姓名： | 宋张佐 刘阳赞 王世松 蔡永明 |
| 作者单位： | 昆明冶研新材料股份有限公司,云南曲靖655011 |
| 摘 要： | 高纯三氯氢硅与氢气在还原炉内反应生成硅为改良西门子法生产多晶硅的关键步骤，还原炉运行情况对多晶硅的质量、产量及设备本体有极大的影响。接地故障是还原炉非正常停炉的常见原因。文章分析、总结接地故障发生的原因并提出相应预防措施。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 还原炉 接地故障 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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