| 氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜光谱响应改性研究 |
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| 引用本文： | 余红华,熊予莹,陈俊芳,吴先球.氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜光谱响应改性研究[J].材料科学与工艺,2007,15(6):885-888. |
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| 作者姓名： | 余红华 熊予莹 陈俊芳 吴先球 |
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| 作者单位： | 1. 华南师范大学,分析测试中心,广东,广州,510006;华南师范大学,物理与电信工程学院,广东,广州,510006
2. 华南师范大学,物理与电信工程学院,广东,广州,510006 |
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| 摘 要： | 采用氢微波等离子体对纳米TiO2薄膜催化剂进行改性处理来改善其光谱响应范围.AFM观察表明未经烧结的TiO2薄膜表面形貌发生较大变化,经过500℃1h热处理过的样品表面形貌变化不大,但处理后样品表面颜色变为淡灰色,并随着气压和功率增大而变深;紫外-可见光谱分析表明,纳米TiO2薄膜催化剂的光谱响应曲线发生了12～25 nm红移;XPS定量分析证实,改性处理后部分TiO2被还原为低价钛氧化物,同时在TiO2薄膜的表面产生了氧空位,从而使样品的吸收边红移,可见光吸收增加.通过不同气压、功率、时间研究显示,在气压/微波功率/时间为16Torr/400W/5min条件下改性效果较理想.
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| 关 键 词： | 氢微波等离子 纳米TiO2薄膜 光谱响应 紫外-可见分析 XPS |
| 文章编号： | 1005-0299（2007）06-0885-04 |
| 收稿时间： | 2005-03-15 |
| 修稿时间： | 2005年3月15日 |
Absorption spectrum modification of nano-TiO2 film by hydrogen microwave plasma |
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| YU Hong-hua,XIONG Yu-ying,CHEN Jun-fang,Wu Xian-qiu.Absorption spectrum modification of nano-TiO2 film by hydrogen microwave plasma[J].Materials Science and Technology,2007,15(6):885-888. |
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| Authors: | YU Hong-hua XIONG Yu-ying CHEN Jun-fang Wu Xian-qiu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hydrogen microwave plasma Nano- TiO2 thin film absorption spectra UV -Vis XPS |
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