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| DY—5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术 | |
| 引用本文： | 武丰煜,唐文剑.DY—5型亚微米电子束曝光机多座标系重合的调校技术[J].电工电能新技术,1994(4):31-36. |
| 作者姓名： | 武丰煜 唐文剑 |
| 摘 要： | 在电子束曝光机中，工件传动台、电磁偏转场及标记三者相对应的座标轴是否重合，是影响图形拼接精度的重要因素之一。本文概要地介绍了调校三座标系相互重合的方法，并给出了ＤＹ－５型亚微米电子束曝光机调校结果。 |
| 关 键 词： | 电子束曝光机 微电子束 座标轴 |
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