| 残余压应力场中薄膜纳米测量硬度的变化与校正 |
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| 引用本文： | 王惠,马德军. 残余压应力场中薄膜纳米测量硬度的变化与校正[J]. 机械工程师, 2005, 0(11): 70-72 |
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| 作者姓名： | 王惠 马德军 |
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| 作者单位： | 装甲兵工程学院,机械工程系,北京,100072 |
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| 摘 要： | 利用量纲定理和有限元法系统分析了残余压应力场中薄膜硬度的变化规律,在此基础上提出了薄膜硬度的修正公式.该修正公式把有、无残余应力时的薄膜硬度比值Hr/H0、卸载功和压入总功的比值We/W、残余压应力σr和硬度的比值σr/Hr联系起来,据此,只要测定薄膜纳米压入加、卸载曲线及薄膜中的残余压应力,便可最终确定无残余应力时的薄膜硬度.
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| 关 键 词： | 残余压应力 硬度 纳米压入 量纲分析 有限元 |
| 文章编号： | 1002-2333(2005)11-0070-03 |
| 收稿时间： | 2005-07-04 |
| 修稿时间： | 2005-07-04 |
Changes and Correction of Nanoindentation Hardness of Thin Solid Films Measured in Residual Compressive Stress Field |
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| WANG Hui,MA De-jun. Changes and Correction of Nanoindentation Hardness of Thin Solid Films Measured in Residual Compressive Stress Field[J]. Mechanical Engineer, 2005, 0(11): 70-72 |
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| Authors: | WANG Hui MA De-jun |
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| Affiliation: | Academy of Armored Forces Engineering,Beijing 100072,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | residual compressive stress hardness nanoindentation dimensional analysis FEM |
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