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| V型电致热微驱动器的力学特性分析 | |
| 引用本文： | 张永宇,沈雪瑾,陈晓阳.V型电致热微驱动器的力学特性分析[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 张永宇 沈雪瑾 陈晓阳 |
| 摘 要： | 运用能量法推导并建立了一种V型悬臂粱电热微致动器的力学模型.利用该力学模型得到了致动器的力学特性,并且与相关的实验结果进行了对比.由理论分析和实验对比发现,用于制造该电热微致动器的多晶硅材料在微米级尺度下的热膨胀系数与温度之间不再遵循宏观状态下的线性函数关系. |
| 关 键 词： | 电热微致动器 MEMS 热膨胀系数 |
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