| 大面积柔性基底TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜的制备及其光电和红外发射特性 |
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| 引用本文： | 胡小草,刁训刚,郝雷.大面积柔性基底TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜的制备及其光电和红外发射特性[J].稀有金属,2008,32(3). |
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| 作者姓名： | 胡小草 刁训刚 郝雷 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜, 其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备, 同时采用Ti作为过渡层, 有效地防止了在溅射最外层TiO2时对Ag膜连续性的破坏.利用紫外可见分光光度计, 四探针电阻仪, 扫描电子显微镜, 红外比辐射率测量仪对薄膜的表面形貌和光电特性进行了表征, 重点研究了不同膜层厚度对多层膜可见光透过率, 方块电阻和红外发射率的影响.结果表明, Ag层厚度对多层膜的方块电阻和红外发射率有决定性的影响, 而TiO2层厚度对此影响不大.
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| 关 键 词： | 大面积 柔性基底 中频反应溅射 Ti过渡层 红外发射率 |
Preparation of Large Area TiO2/Ag/Ti/TiO2 Multilayers on Flexible Substrate and Its Optoelectronic and Infrared Emission Properties |
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