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| 一种用于低温下瞬态测温的薄膜热偶技术 | |
| 引用本文： | 徐文,张江.一种用于低温下瞬态测温的薄膜热偶技术[J].低温与特气,1993(1):36-39. |
| 作者姓名： | 徐文 张江 |
| 作者单位： | 上海交通大学低温研究和测试中心，上海交通大学低温研究和测试中心，上海机械学院低温生物工程研究室，上海机械学院低温生物工程研究室 上海 200030，上海 200030，上海 200093，上海 200093 |
| 摘 要： | 薄膜热电偶是采用高真空下离子溅射法制成的。从理论上对它的响应时间常数及动态测温误差进行了分析,并附有初步实验结果。从理论分析和实验结果看来,薄膜热电偶在低温下的响应要快于一般结点型热电偶。 |
| 关 键 词： | 薄膜热电偶 测温 热电偶 低温 |
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