一种电容式Al2O3湿度传感器 |
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引用本文: | 吴海霞,王占和,李印增.一种电容式Al2O3湿度传感器[J].微电子学,2003,33(5):456-457,461. |
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作者姓名: | 吴海霞 王占和 李印增 |
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作者单位: | 北京理工大学,电子工程系,北京,100081 |
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摘 要: | 在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜,采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜,然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。设计制作了电容式Al2O3湿度传感器,测试结果表明,该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。
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关 键 词: | 三氧化二铝 多孔膜 湿度传感器 Al2O3 电容式 铝薄膜 |
文章编号: | 1004-3365(2003)05-0456-02 |
A Study on Al2O3 Capacitive Humidity Sensor |
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Abstract: | |
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Keywords: | Al_2O_3 Porous film Humidity sensor |
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